Röntgenfluoreszenzverfahren zur Schichtdickenmessung und Materialanalyse

  • Messmethode: Röntgenfluoreszenzverfahren (zerstörungsfreie Methode)
  • Normen: DIN EN ISO 3497 und ASTM B 568
  • Messfleck: 50x50 µm bis ∅ 3,0 mm
  • Messung nahezu beliebiger Schichtkombinationen möglich
     

Anwendungsmöglichkeiten:

  • Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
  • Materialanalysen (Stahl-, Buntmetall- und Leichtmetallanalysen)
  • Edelmetallanalysen (Feingehalt- und Schichtdickenmessungen)
  • Messung dünner Schichten (nm-Bereich) und Spurenanalysen
  • Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
  • RoHS-Analysen
  • Steckkontakte, Leiterplatten, funktionelle und dekorative Schichten
     


 

Am fem stehen insgesamt fünf Geräte zur Verfügung:

  • Messgerät: Fischer XDV-SDD50
  • Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
  • Besonders geeignet zur Messung sehr dünner Schichten, Spurenelemente und Legierungen
  • Programmierbarer XYZ-Messtisch
  • Messbare Elemente: ab Z=13 (Aluminium) bis Z=92 (Uran)

  • Messgerät: Fischer XDVM-W
  • Detektor: Proportionalzählrohr
  • Variable Messabstände
  • Programmierbarer XYZ-Messtisch
  • Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)

  • ​​Messgerät: Fischer XDAL
  • Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
  • Besonders geeignet zur Messung dünner Schichten
  • Spurenanalysen
  • Programmierbarer XYZ-Messtisch
  • Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)

  • Messgerät: Fischer XUV 773 (Vakuum-RFA)
  • Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
  • Evakuierbare Messkammer für Messungen an Luft, Vakuum oder unter Helium
  • Programmierbarer XYZ-Messtisch
  • Messbare Elemente: ab Z=11 (Natrium) bis Z=92 (Uran)
  • Leichtmetall- und Spurenanalysen 
  • Direktmessung von NiP-Schichten

  • Messgerät: Fischer XAN
  • Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
  • Einfache Probenpositionierung (Messrichtung von unten nach oben)
  • Gold- und Edelmetallanalysen in der Schmuck und Uhrenindustrie
  • Stahl- und Buntmetallanalysen
  • Spurenanalysen 
  • Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH) Alexander Pfund | DW 311
pfund@fem-online.de


Auf einen Blick

  • Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
  • Materialanalysen
  • Edelmetallanalysen
  • Messung dünner Schichten
  • Spurenanalyse
  • Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
  • RoHS-Analysen