Topographiemessungen mit Konfokalmikroskopie
- Messgerät: Nanofocus µsurf custom
- Messmethode: Konfokalmikroskopie
- Einzelmessfeldgrößen: 320 x 320 µm bis 3,2 x 3,2 mm (4 Objektive: 50x bis 5x)
- Kamera-Auflösung: 1 Megapixel
- Max. Masse des Messobjektes: 5 kg
- Stitching: Erfassung großer Oberflächen durch Zusammensetzen von Einzelmessungen
- Auswertesoftware: Digital Surf MountainsMap® 7.2
Anwendungsmöglichkeiten
- Vermessung von Oberflächenstrukturen in alle drei Raumrichtungen
- Vermessung, Bewertung und statistische Auswertung von z.B. Kratzern, Verschleißspuren, Oberflächenfehlern u.a.
- 3D-Defektdichtebestimmung/Partikelzählung mit < 1 µm Auflösung über mehrere cm2 Fläche inkl. statistischer Auswertung („LAHR-Mapping“)
- Flächenhafte 3D-Rauheitsmessung (Norm: DIN EN ISO 25178)
3D Topographie einer 2 EUR Münze mit Profilschnitt und Vermessung
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. (FH) Martin Balzer | DW 401
balzer@fem-online.de
Dipl.-Ing. (FH) Herbert Kappl | DW 403
kappl@fem-online.de
Auf einen Blick
- 3-D Abbildung und Vermessung von Oberflächenstrukturen
- Auflösung in z-Richtung im Nanometer-Bereich
- 4 Objektive 5 x bis 50 x
- Größen der Einzelbilder: 0,32 x 0,32 mm bis 3,2 x 3,2 mm
- Stitching
- Defektdichtebestimmung ("LAHR-mapping")