Topographiemessungen mit Konfokalmikroskopie

  • Messgerät: Nanofocus µsurf custom
  • Messmethode: Konfokalmikroskopie
  • Einzelmessfeldgrößen: 320 x 320 µm bis 3,2 x 3,2 mm (4 Objektive: 50x bis 5x)
  • Kamera-Auflösung: 1 Megapixel
  • Max. Masse des Messobjektes: 5 kg
  • Stitching: Erfassung großer Oberflächen durch Zusammensetzen von Einzelmessungen
  • Auswertesoftware: Digital Surf MountainsMap® 7.2
     

Anwendungsmöglichkeiten

  • Vermessung von Oberflächenstrukturen in alle drei Raumrichtungen
  • Vermessung, Bewertung und statistische Auswertung von z.B. Kratzern, Verschleißspuren, Oberflächenfehlern u.a.
  • 3D-Defektdichtebestimmung/Partikelzählung mit < 1 µm Auflösung über mehrere cm2 Fläche inkl. statistischer Auswertung („LAHR-Mapping“)
  • Flächenhafte 3D-Rauheitsmessung (Norm: DIN EN ISO 25178)

 

3D Topographie einer 2 EUR Münze mit Profilschnitt und Vermessung

 

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. (FH) Martin Balzer | DW 401
balzer@fem-online.de

Dipl.-Ing. (FH) Herbert Kappl | DW 403
kappl@fem-online.de


Auf einen Blick

  • 3-D Abbildung und Vermessung von Oberflächenstrukturen
  • Auflösung in z-Richtung im Nanometer-Bereich
  • 4 Objektive 5 x bis 50 x
  • Größen der Einzelbilder: 0,32 x 0,32 mm bis 3,2 x 3,2 mm
  • Stitching
  • Defektdichtebestimmung ("LAHR-mapping")