Röntgenfluoreszenzverfahren zur Schichtdickenmessung und Materialanalyse
- Messmethode: Röntgenfluoreszenzverfahren (zerstörungsfreie Methode)
- Normen: DIN EN ISO 3497 und ASTM B 568
- Messfleck: 50x50 µm bis ∅ 3,0 mm
- Messung nahezu beliebiger Schichtkombinationen möglich
Anwendungsmöglichkeiten:
- Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
- Materialanalysen (Stahl-, Buntmetall- und Leichtmetallanalysen)
- Edelmetallanalysen (Feingehalt- und Schichtdickenmessungen)
- Messung dünner Schichten (nm-Bereich) und Spurenanalysen
- Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
- RoHS-Analysen
- Steckkontakte, Leiterplatten, funktionelle und dekorative Schichten
Am fem stehen insgesamt fünf Geräte zur Verfügung
- Fischerscope XDV-SDD50
- Fischerscope XDVM-W
- Fischerscope XDAL
- Fischerscope XUV 773 (Vakuum-RFA)
- Fischerscope XAN
