
Röntgenfluoreszenzverfahren zur Schichtdickenmessung und Materialanalyse
- Messmethode: Röntgenfluoreszenzverfahren (zerstörungsfreie Methode)
- Normen: DIN EN ISO 3497 und ASTM B 568
- Messfleck: 50x50 µm bis ∅ 3,0 mm
- Messung nahezu beliebiger Schichtkombinationen möglich
Anwendungsmöglichkeiten:
- Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
- Materialanalysen (Stahl-, Buntmetall- und Leichtmetallanalysen)
- Edelmetallanalysen (Feingehalt- und Schichtdickenmessungen)
- Messung dünner Schichten (nm-Bereich) und Spurenanalysen
- Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
- RoHS-Analysen
- Steckkontakte, Leiterplatten, funktionelle und dekorative Schichten
Am fem stehen insgesamt fünf Geräte zur Verfügung:
- Messgerät: Fischer XDV-SDD50
- Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
- Besonders geeignet zur Messung sehr dünner Schichten, Spurenelemente und Legierungen
- Programmierbarer XYZ-Messtisch
- Messbare Elemente: ab Z=13 (Aluminium) bis Z=92 (Uran)
- Messgerät: Fischer XDVM-W
- Detektor: Proportionalzählrohr
- Variable Messabstände
- Programmierbarer XYZ-Messtisch
- Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)
- Messgerät: Fischer XDAL
- Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
- Besonders geeignet zur Messung dünner Schichten
- Spurenanalysen
- Programmierbarer XYZ-Messtisch
- Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)
- Messgerät: Fischer XUV 773 (Vakuum-RFA)
- Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
- Evakuierbare Messkammer für Messungen an Luft, Vakuum oder unter Helium
- Programmierbarer XYZ-Messtisch
- Messbare Elemente: ab Z=11 (Natrium) bis Z=92 (Uran)
- Leichtmetall- und Spurenanalysen
- Direktmessung von NiP-Schichten
- Messgerät: Fischer XAN
- Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
- Einfache Probenpositionierung (Messrichtung von unten nach oben)
- Gold- und Edelmetallanalysen in der Schmuck und Uhrenindustrie
- Stahl- und Buntmetallanalysen
- Spurenanalysen
- Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)
Ansprechpartner
Dipl.-Ing. (FH) Alexander Pfund | DW 311
pfund@fem-online.de
Auf einen Blick
- Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
- Materialanalysen
- Edelmetallanalysen
- Messung dünner Schichten
- Spurenanalyse
- Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
- RoHS-Analysen