Röntgenfluoreszenzverfahren zur Schichtdickenmessung und Materialanalyse

• Messmethode: Röntgenfluoreszenzverfahren (zerstörungsfreie Methode)
• Normen: DIN EN ISO 3497 und ASTM B 568
• Messfleck: 50x50 µm bis ∅ 3,0 mm
• Messung nahezu beliebiger Schichtkombinationen möglich
   

Anwendungsmöglichkeiten:

• Vermessung von Ein- und Mehrschichtsystemen
• Materialanalysen (Stahl-, Buntmetall- und Leichtmetallanalysen)
• Edelmetallanalysen (Feingehalt- und Schichtdickenmessungen)
• Messung dünner Schichten (nm-Bereich) und Spurenanalysen
• Bestimmung des Schichtgewichts von Konversionsschichten
• RoHS-Analysen
• Steckkontakte, Leiterplatten, funktionelle und dekorative Schichten
   

Am fem stehen insgesamt fünf Geräte zur Verfügung:

• Messgerät: Fischer XDV-SDD50
• Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
• Besonders geeignet zur Messung sehr dünner Schichten, Spurenelemente und Legierungen
• Programmierbarer XYZ-Messtisch
• Messbare Elemente: ab Z=13 (Aluminium) bis Z=92 (Uran)

• Messgerät: Fischer XDVM-W
• Detektor: Proportionalzählrohr
• Variable Messabstände
• Programmierbarer XYZ-Messtisch
• Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)

• ​​Messgerät: Fischer XDAL
• Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
• Besonders geeignet zur Messung dünner Schichten
• Spurenanalysen
• Programmierbarer XYZ-Messtisch
• Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)

• Messgerät: Fischer XUV 773 (Vakuum-RFA)
• Detektor: Hochauflösender Silizium-Drift-Detektor (SDD)
• Evakuierbare Messkammer für Messungen an Luft, Vakuum oder unter Helium
• Programmierbarer XYZ-Messtisch
• Messbare Elemente: ab Z=11 (Natrium) bis Z=92 (Uran)
• Leichtmetall- und Spurenanalysen 
• Direktmessung von NiP-Schichten

• Messgerät: Fischer XAN
• Detektor: Si-Pin-Halbleiterdetektor
• Einfache Probenpositionierung (Messrichtung von unten nach oben)
• Gold- und Edelmetallanalysen in der Schmuck und Uhrenindustrie
• Stahl- und Buntmetallanalysen
• Spurenanalysen 
• Messbare Elemente: ab Z=17 (Chlor) bis Z=92 (Uran)